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在气相沉积(CVD)工艺中，氮气作为载气、保护气或反应气，其纯度与浓度稳定性直接影响薄膜沉积质量与工艺安全性。深国安研发的气相沉积(CVD)工艺专用SGA-500氮气检测仪以 “多量程精准覆盖、高精度实时监测” 为核心，专为半导体晶圆钝化层、光伏电池减反射膜、显示面板 ITO 膜等 CVD 制备场景设计，完美适配低压 / 常压 CVD 设备环境，为工艺稳定性与人员安全提供双重保障。
气相沉积(CVD)工艺专用SGA-500氮气检测仪多量程覆盖0-100PPM、100%LEL、30%VOL、100%VOL等大小量程，高分辨率0.001PPM，内置进口电化学传感器，实测精度3-5%范围内，可定制1-6种气体检测指标，可选量程不限，技术原理不限，精度要求不限等。气相沉积(CVD)工艺专用SGA-500氮气检测仪配备2.4英寸高清显示彩屏，实时显示氮气浓度曲线、设备状态及报警信息;支持存储≥10 万组历史数据，可通过 USB 或 RS485 接口导出检测报告(含时间、浓度、工艺阶段)，满足半导体行业 ISO 9001 质量追溯要求。
气相沉积(CVD)工艺专用SGA-500氮气检测仪符合《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472-2008)、半导体行业 SEMI S2/S8 安全标准，提供1年整机质保(核心部件传感器提供1年服务)。针对 CVD 工艺的特殊性，深国安SGA-501氮气检测仪可提供定制化服务(如特殊量程校准、与特定 CVD 设备的联动调试)，同时配备专业技术团队，24 小时响应维护需求，确保设备长期适配工艺升级。
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